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历史招中标信息69987条
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| 发光器件制备系统 | 项目编号****点击查看 | |
| 2025-09-23 16:38:55 | 公告截止日期2025-09-26 17:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式货到付款100% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后30个工作日内 | |
| ￥ 498000.00 | ||
| **市****点击查看 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 有机—金属真空热蒸镀仪 | 1 | 台 |
| **方昇 |
| FS380-S12 |
| ￥ 498000.00 |
| 1、样品台 安装120 mm×120 mm的基片托盘，基片盘采用电机驱动旋转，旋转速度可调；提供一套掩膜板，样片与掩膜板的配合间隙小于0.3 mm；样片旋转和挡板采用磁流体密封，保证密封可靠性，通过软件控制。 2、蒸发源 共12组蒸发源，源与源之间配有防止交叉污染的防污板；配3套进口蒸发电源，用于蒸发金属和有机材料，可切换到4组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压两种驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，还可以通过膜厚仪PID（闭环控制）自动调节蒸发速率；有机和金属蒸发源均带有水冷功能。 3、膜厚测量系统 采用石英晶振膜厚仪实时测量膜厚，膜厚仪速率测量显示精度优于0.01 /s，厚度精度优于1 ；频率分辨率0.01 Hz。石英晶振探头4个，采用快速卡扣式结构。 4、蒸发腔体 腔体采用SUS304不锈钢制作，腔体内表面精糙度≤0.8；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度≤0.8；整体漏率优于5×10-10 Pa.m3/s，保压12 h，压强<10 Pa。 5、蒸镀真空系统 极限真空优于3.5×10-5 torr；主泵采用分子泵，抽速不低于700 L/s；前级泵抽速不低于15 m3/h；气动高真空插板阀，通径≥150 mm；带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作；腔体充氮气，从大气抽至3×10-6 torr所需时间要求<15 min。 6、蒸镀软件控制系统 真空系统的控制通过软件或膜厚仪触摸屏完成蒸发电源的升温、降温和更换掩膜板的操作；带有伺服控制模块，可完成旋转速度，旋转角度，定位角度的控制。 |
| 12个月 |
| ****点击查看 |
基本情况
上次中标企业: 北京****公司
潜在竞争对手: 共
3
个, 其中与甲方合作关系紧密的
1 家
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